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| 峰值抽速 50 Hz | 80 m3h-1 (47 cfm) |
| 峰值抽速 60 Hz | 94 m3h-1 (56 cfm) |
| 极限压力 | <3x10-2 mbar(<2x10-2 Torr) |
| 极限压力时的功率 | 3.6 kW (4.8 hp) |
| 峰值泵负载时的功率 | 5.8 kW (7.8 hp) |
| 电源供给 | 200-230V 3Æ 50/60Hz 或 380-460V 3Æ 50/60Hz |
| 进气口连接 | ISO40 |
| 出气口连接 | NW40 |
| 冷却方法 | 水 |
| 冷却水流速 | 1 lmin-1（(0.26 galmin-1) |
| 最大冷却水供给压力 | 8 bar (116 psig) |
| 冷却水压力差 | 2.1 bar (30 psig) |
| 冷却水温度 | 5-35 °C (41-95 °F) |
| 冷却水入口 | ½" 快速接头 |
| 冷却水出口 | ½" 快速接头 |
| 吹扫空气压力 | 0.5 bar (6-8 psig) |
| 吹扫空气小功率 | 15 slm |
| 吹扫空气连接 | ¼" 快速接头 |
| 重量 | 145 kg (320 lbs) |
| 噪音（带排气消音器时） | <78 dB(A) |
| 排气背压 | 1.3 bar (18 psig) |
| 润滑油容量 | 0.4 l (0.1 gal) |
| 碳氢化合物润滑油 | SHC629 |
| PFPE 润滑油 | YVAC 25/6 |