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Gamma离子泵
Gamma离子泵
        离子泵也称为溅射离子泵或离子吸气剂 泵,属于俘获型泵,这种泵使用阳极/阴极阵列将气体离子化。 离子会溅射活性阴极材料,导致化学反应,将离子化气体转变为固体 化合物。 这些化合物不会再在真空系统中形成压力,而是被永久捕获 在离子泵内。
        Gamma 离子泵广泛应用于高真空和超高真空(UHV)环境,较低的经济成本即可实现较高的真空度。
        与其他的技术相比,离子泵具有以下的优势:
        低噪音,无振动,低运行成本
        长效无故障周期,使用寿命长(50,000 hours), 持久的气体捕获
        辐射耐受,无污染,可烘烤
        压力读数显示,可实时监测真空值变化

Gamma离子泵定制服务
        ►SEM离子泵
        ►专用连接口配置
        ►定制尺寸
        ►高压应用定制
        ►极端真空(XHV)应用
小型离子泵(mini – 75S)
        小型离子泵有众多的尺寸和不同的配置,Gamma Vacuum产品拥有众多的小型离子泵的选择。这些小型离子泵提供多中不同的接口类型,可以任意的方向安装到用户的系统中。极限压力<10E-11 mbar,初始压力1 x 10E-3 mbar,使用寿命50,000小时(@e-6mbar)。

Mini 3S 5S 10S 10SW 10ST
 
25S 25SVW 25SVT 45S 75S  

型号
抽速l/s(CV / DI)
工作温度/最高温度℃
尺寸L×W×D mm
进气法兰
重量Kg
Mini
0.2
100 / 100
38 × 38 × 51
DN16 /1.33"
0.35
3S
3 / 2
95 / 450
138 x 41 x 50 
DN16 /1.33"
0.45
5S
5
200 / 450
106 x 85 x 81
DN35 /2.75"
2.3
10S
10 / 8
250 / 450(不含磁)
200 x 153 x 79
DN35 /2.75"
6
10SW
10 / 8
250 / 450(不含磁)
213 x 139 x 80
DN35 /2.75"
6
10ST
10 / 8
100 / 450(不含磁)
214 x 131 x 63
DN35 /2.75"
4
25S
20 / 15
250 / 450(不含磁)
202 x 125 x 130
DN35 /2.75"
9
25SVW
20 / 15
250 / 450(不含磁)
226 x 171 x 125
DN35 /2.75"
8
25SVT
20 / 15
100 / 450(不含磁)
226 x 171 x 91
DN35 /2.75"
7
45S
40 / 35
250 / 450(不含磁)
209 x 251 x 130
DN35 /2.75"
DN63 /4.5"
16
75S
75 / 60
250 / 450(不含磁)
277 x 242 x 130
DN35 /2.75"
DN63 /4.5"
DN100 /6"
20
离子泵 CV(Conventional):含有两个钛阴极,保证高抽速;
离子泵 DI(Differential):含有一个钛阴极和一个钽阴极,保证快速抽吸活性气体和长时间稳定抽吸惰性气体;
离子泵 TR:三阴极管元件适合高压力环境;


低侧面离子泵(100L – 1200LX)
        低侧面离子泵是高度低于12英寸(300mm)的标准配置的离子泵产品。这类泵可以针对每个订单定制,这类泵封闭磁环能有效减少泵运行时产生的杂散磁场,是带电粒子应用的理想离子泵。极限压力<10E-11 mbar,初始压力1 x 10E-3 mbar,使用寿命50,000小时(@e-6mbar)。
100L 200L 300L 400L 400LX
 
600L 600LX 800LX 1200LX  

型号 抽速l/s(CV /DI/TR) 尺寸L×W×D mm 工作温度/最高℃ 进气法兰 重量Kg
100L 100/80/80 326 x 128 x 252 250/450(不含磁) DN 100 (6 in.) 29
200L 200/200/160 325 x 413 x 233 250/450(不含磁) DN 150 (8 in.) 50
300L 300/240/240 325 x 413 x 337 250/450(不含磁) DN 150 (8 in.) 66
400L 400/320/320 325 x 413 x 413 250/450(不含磁) DN 150 (8 in.) 67
400LX 400/320/320 537 x 413 x 233 250/450(不含磁) DN 150 (8 in.) 95
600L 600/480/480 325 x 513 x 513 250/450(不含磁) DN 150 (8 in.) 103
600LX 600/480/480 537 x 413 x 336 250/450(不含磁) DN 150 (8 in.) 122
800LX 800/640/640 537 x 413 x 413 250/450(不含磁) DN 150 (8 in.) 127
1200LX 1200/960/960 650 x 513 x 513 250/450(不含磁) DN 150 (8 in.)
DN 200 (10 in.)
206
离子泵 CV(Conventional):含有两个钛阴极,保证高抽速;
离子泵 DI(Differential):含有一个钛阴极和一个钽阴极,保证快速抽吸活性气体和长时间稳定抽吸惰性气体;
离子泵 TR:三阴极管元件适合高压力环境;


高侧面离子泵(150TV – 600TV)
        高侧面离子泵设计用于安装在狭窄的应用环境。这类泵同样可以按照订单需求制造,同时设计适用于不能使用低侧剖面离子泵的应用环境,具有较小的外形尺寸。极限压力<10E-11 mbar,初始压力1 x 10E-3 mbar,使用寿命50,000小时(@e-6mbar)。

150T 150TV 200T 250T
300T 300TV 500T 600TV

型号 抽速l/s(CV /DI/TR) 尺寸L×W×D mm 工作温度/最高℃ 进气法兰 重量Kg
150T 150/120/120 442 x 247 x 231 250/450(不含磁) DN 100 (6")
DN 150 (8")
36
150TV 150/120/120 338 x 247 x 231 250/450(不含磁) DN 100 (6") 32
200T 200/200/160 546 x 247 x 231 250/450(不含磁) DN 100 (6")
DN 150 (8")
40
250T 250/250/200 662 x 330 x 207 250/450(不含磁) DN 150 (8") 61
300T 300/240/240 345 x 450 x 231 250/450(不含磁) DN 150 (8") 66
300TV 300/240/240 345 x 450 x 231 250/450(不含磁) DN 150 (8") 65
500T 500/400/400 662 x 453 x 207 250/450(不含磁) DN 150 (8") 96
600TV 600/480/480 525 x 450 x 305 250/450(不含磁) DN 150 (8") 109
离子泵 CV(Conventional):含有两个钛阴极,保证高抽速;
离子泵 DI(Differential):含有一个钛阴极和一个钽阴极,保证快速抽吸活性气体和长时间稳定抽吸惰性气体;
离子泵 TR:三阴极管元件适合高压力环境;


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