Gamma离子泵 离子泵也称为溅射离子泵或离子吸气剂 泵,属于俘获型泵,这种泵使用阳极/阴极阵列将气体离子化。 离子会溅射活性阴极材料,导致化学反应,将离子化气体转变为固体 化合物。 这些化合物不会再在真空系统中形成压力,而是被永久捕获 在离子泵内。 Gamma 离子泵广泛应用于高真空和超高真空(UHV)环境,较低的经济成本即可实现较高的真空度。 与其他的技术相比,离子泵具有以下的优势: •低噪音,无振动,低运行成本 •长效无故障周期,使用寿命长(50,000 hours), 持久的气体捕获 •辐射耐受,无污染,可烘烤 •压力读数显示,可实时监测真空值变化 Gamma离子泵定制服务
►SEM离子泵
►专用连接口配置 ►定制尺寸 ►高压应用定制 ►极端真空(XHV)应用 |
|
|
|
|
|
|
|
Mini | 3S | 5S | 10S | 10SW | 10ST |
|
|
|
|
|
|
25S | 25SVW | 25SVT | 45S | 75S |
型号
|
抽速l/s(CV / DI)
|
工作温度/最高温度℃
|
尺寸L×W×D mm
|
进气法兰
|
重量Kg
|
---|---|---|---|---|---|
Mini
|
0.2
|
100 / 100
|
38 × 38 × 51
|
DN16 /1.33"
|
0.35
|
3S
|
3 / 2
|
95 / 450
|
138 x 41 x 50
|
DN16 /1.33"
|
0.45
|
5S
|
5
|
200 / 450
|
106 x 85 x 81
|
DN35 /2.75"
|
2.3
|
10S
|
10 / 8
|
250 / 450(不含磁)
|
200 x 153 x 79
|
DN35 /2.75"
|
6
|
10SW
|
10 / 8
|
250 / 450(不含磁)
|
213 x 139 x 80
|
DN35 /2.75"
|
6
|
10ST
|
10 / 8
|
100 / 450(不含磁)
|
214 x 131 x 63
|
DN35 /2.75"
|
4
|
25S
|
20 / 15
|
250 / 450(不含磁)
|
202 x 125 x 130
|
DN35 /2.75"
|
9
|
25SVW
|
20 / 15
|
250 / 450(不含磁)
|
226 x 171 x 125
|
DN35 /2.75"
|
8
|
25SVT
|
20 / 15
|
100 / 450(不含磁)
|
226 x 171 x 91
|
DN35 /2.75"
|
7
|
45S
|
40 / 35
|
250 / 450(不含磁)
|
209 x 251 x 130
|
DN35 /2.75"
DN63 /4.5" |
16
|
75S
|
75 / 60
|
250 / 450(不含磁)
|
277 x 242 x 130
|
DN35 /2.75"
DN63 /4.5" DN100 /6" |
20
|
|
|
|
|
|
100L | 200L | 300L | 400L | 400LX |
|
|
|
|
|
600L | 600LX | 800LX | 1200LX |
型号 | 抽速l/s(CV /DI/TR) | 尺寸L×W×D mm | 工作温度/最高℃ | 进气法兰 | 重量Kg |
---|---|---|---|---|---|
100L | 100/80/80 | 326 x 128 x 252 | 250/450(不含磁) | DN 100 (6 in.) | 29 |
200L | 200/200/160 | 325 x 413 x 233 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8 in.) | 50 |
300L | 300/240/240 | 325 x 413 x 337 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8 in.) | 66 |
400L | 400/320/320 | 325 x 413 x 413 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8 in.) | 67 |
400LX | 400/320/320 | 537 x 413 x 233 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8 in.) | 95 |
600L | 600/480/480 | 325 x 513 x 513 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8 in.) | 103 |
600LX | 600/480/480 | 537 x 413 x 336 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8 in.) | 122 |
800LX | 800/640/640 | 537 x 413 x 413 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8 in.) | 127 |
1200LX | 1200/960/960 | 650 x 513 x 513 | 250/450(不含磁) |
DN 150 (8 in.) DN 200 (10 in.) |
206 |
|
|
|
|
150T | 150TV | 200T | 250T |
|
|
|
|
300T | 300TV | 500T | 600TV |
型号 | 抽速l/s(CV /DI/TR) | 尺寸L×W×D mm | 工作温度/最高℃ | 进气法兰 | 重量Kg |
---|---|---|---|---|---|
150T | 150/120/120 | 442 x 247 x 231 | 250/450(不含磁) |
DN 100 (6") DN 150 (8") |
36 |
150TV | 150/120/120 | 338 x 247 x 231 | 250/450(不含磁) | DN 100 (6") | 32 |
200T | 200/200/160 | 546 x 247 x 231 | 250/450(不含磁) |
DN 100 (6") DN 150 (8") |
40 |
250T | 250/250/200 | 662 x 330 x 207 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8") | 61 |
300T | 300/240/240 | 345 x 450 x 231 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8") | 66 |
300TV | 300/240/240 | 345 x 450 x 231 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8") | 65 |
500T | 500/400/400 | 662 x 453 x 207 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8") | 96 |
600TV | 600/480/480 | 525 x 450 x 305 | 250/450(不含磁) | DN 150 (8") | 109 |