Edwards nXDS 具备出色的抽排能力、极高的真空性能和最先进的设计特性，性能居同类产品之首。
nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进，提高了抽取速度，降低了极限压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了最新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。 
nXDS 泵可完全进行现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔带来较低的拥有成本，使其成为应用于当今最先进技术的小型干泵的首选。
       •  工作环境更好，环境影响低：
             安静运转
       •  操作简单：
            智能且易于使用控制
      •  无污染且不需要处理油：
            采用密封结构，实现了无润滑剂真空环境
      •  低拥有 成本：
            长维修间隔和低功耗
      •  更快的制程：
            出色的蒸汽处理能力

应用：

• 一般清洁泵送应用 • 电子扫描显微镜 - SEM • 射束线和高能物理 • 前级涡轮泵 • 超高速离心机 • 覆层 • 低温学 • 表面科学仪器

• 脱气/硫化 - 油，环氧树脂 • 蒸馏/萃取/过滤 • 冷冻干燥 • 熔炉 • 凝胶体干燥 • 实验室工作台上真空 • 激光、气体回收和再循环 • 氦检漏仪

• 负载锁和传输腔 • 稀有气体再循环 • 稀有气体回收 • 冷冻制造 • 研发 • 旋转离心蒸发器 • SEM/FIB（离子束维修） • 溶剂回收

特点：

        ·  真空外壳中不需要使用润滑剂，完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空， 防止交叉污染
        ·  无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能 以更低温度运行，使用时间更长
        ·  简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需最低程度的 特殊工具，就能实现轻松的现场服务，
          因此可降低运行成本， 尽可能延长正常运行时间
        ·  改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本
        ·  先进的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视

技术参数：

	nXDS6i	nXDS10i	nXDS15i	nXDS20i
额定转速	1800 rpm	1800 rpm	1800 rpm	1800 rpm
容积	6.2 m3h-1	12.7 m3h-1	17.1 m3h-1	28.0 m3h-1
峰值抽取速度	6.2 m3h-1	11.4 m3h-1	15.1 m3h-1	22.0 m3h-1
极限真空（总压力）	0.020 mbar / 0.015 Torr	0.007 mbar  /  0.005 Torr	0.007 mbar  /  0.005 Torr	0.030 mbar  /  0.022 Torr
最小待机转速	1200 rpm	1200 rpm	1200 rpm	1200 rpm
速度控制精度 （以全速百分比表示）	1%	1%	1%	1%
最小转速时的抽取速度	4.1	7.5	9.9	10
最大连续入口压力	200 mbar	200 mbar	200 mbar	50 mbar
马达功率（一相）	260 W	280 W	300 W	260 W
电源连接器（1 相）	IEC EN60320 C13	IEC EN60320 C13	IEC EN60320 C13	IEC EN60320 C13
推荐的保险丝	10A，250Vac rms	10A，250Vac rms	10A，250Vac rms	10A，250Vac rms
重量	26.2 kg /  58 lb	25.8 kg  /  57 lb	25.2 kg  /  56 lb	25.6 kg  /  56 lb
入口法兰	NW25	NW25	NW25	NW25
排气口法兰	NW25	NW25	NW25	NW25
噪声级别	52 dB(A)	52 dB(A)	52 dB(A)	52 dB(A)
入口法兰处的震动	< 4.5 mms-1   (rms)	< 4.5 mms-1   (rms)	< 4.5 mms-1   (rms)	< 4.5 mms-1  (rms)
密封性（静态）	< 1x10-6 mbar ls-1	< 1x10-6 mbar ls-1	< 1x10-6 mbar ls-1	< 1x10-6 mbar ls-1
操作温度范围	10 至 40 °C	10 至 40 °C	10 至 40 °C	10 至 40 °C