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角阀
S29 soft-pump角阀
主要用途
:适用于高真空(HV)系统真空隔断及破真空,可有效降低震动、颗粒物、基片移动及凝结等影响。
气动角阀
单向常闭NC
不带电磁阀
不带位置指示器
DN
Ordering numbers
mm
inch
Angle valve
Inline valve
aluminum
stainless steel
aluminum
stainless steel
ISO-KF
25
1
29028-KA11
29028-KE11
29128-KA11
29128-KE11
40
1 ½
29032-KA11
29032-KE11
29132-KA11
29132-KE11
50
2
29034-KA11
29034-KE11
29134-KA11
29134-KE11
ISO-K
63
2 ½
29036-QA11
29036-QE11
–
–
80
3
29038-QA11
–
–
–
100
4
29240-QA11
on request
–
–
160
6
29244-QA11
on request
–
–
without solenoid valve, with position indicator: 29 . . . - . . 21
with solenoid valve, without position indicator: 29 . . . - . . 31 (specify control voltage)
with solenoid valve, with position indicator: 29 . . . - . . 41 (specify control voltage)
气动角阀
主阀:双向动作
辅阀:单向常闭NC
不带电磁阀
不带位置指示器
DN
Ordering numbers
Angle valve
mm
inch
aluminum
stainless steel
ISO-K
100
4
29240-QA14
29240-QE14
160
6
29244-QA14
29244-QE14
without solenoid valve, with position indicator: 292 . . -Q . 24
with solenoid valve, without position indicator: 292 . . -Q . 34 (specify control voltage)
with solenoid valve, with position indicator: 292 . . -Q . 44 (specify control voltage)
技术参数
Leak rate
: valve body, valve seat
< 1 · 10
-9
mbar ls
-1
Pressure range
– DN 25 – 50
1 · 10
-8
mbar to 1.2 bar (abs)
– DN 63 – 80
1 · 10
-8
mbar to 4 bar (abs)
– DN 100 – 160
1 · 10
-8
mbar to 2 bar (abs)
Differential pressure on the plate
– In opening direction
≤ 1.2 bar
– In closing direction
- DN 25 – 50
≤ 4.0 bar
- DN 63 – 80
≤ 4.0 bar
- DN 100 – 160
≤ 2.0 bar
Differential pressure at opening
≤ 1 bar
Cycles until first service
– DN 25 – 50
2 million
– DN 63 – 80
3 million
– DN 100 – 160
1 million
Temperature
– Valve body
≤ 150 °C
– Actuator
- DN 25 – 50
≤ 120 °C
- DN 63 – 160
≤ 80 °C
– Solenoid valve, position indicator
≤ 80 °C
Material
– Valve body: main valve
- aluminum
DN 25 – 63
EN AW-6060 (3.3206), -6061 (3.3211),-6063 (3.3206), -6082 (3.2315)
DN 80 – 160
EN AC-42000
- stainless steel
DN 25 – 160
AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4404)
– Valve body: soft-pump valve
EN AW-6060 (3.3206), -6061 (3.3211),-6063 (3.3206), -6082 (3.2315)
– Plate
AISI 316L (1.4404, 1.4435) or AISI 304L (1.4306)
– Bellows
AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 316 Ti (1.4571)
Seal
:bonnet, plate
FKM (Viton®)
Feedthrough (main valve)
– DN 25 – 80
bellows
– DN 100 – 160
shaft feedthrough
Mounting position
any
Solenoid valve
– DN 25 – 50
24 V DC, 2.5 W
– DN 63 – 160
24 V DC, 9.0 W (others on request)
Position indicator
: contact rating
– Voltage
5 – 50 V AC / DC
– Current
5 – 100 mA
Valve position indication
visual (mechanical)
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