iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。

应用：

负载锁定     转换     计量     平版印刷     PVD 制程

植入源 HDP CVD RTP SACVD

PVD 预清洁 RTA 剥离/灰化 刻蚀

MCVD PECVD LPCVD ALD

技术参数：

	iH80	iH160	iH6000	iH1000	iH1800
峰值速度	103 m3h-1	165 m3h-1	600 m3h-1	1000 m3h-1
	1717 l min-1	2750 l min-1	10000 l min-1	16670 l min-1	30000 l min-1
极限真空	1 x 10-2 mbar	1 x 10-2 mbar	7 x 10-4 mbar	1 x 10-3 mbar	1 x 10-3 mbar
	7.5 x 10-3 Torr	7.5 x 10-3 Torr	5.3 x 10-4 Torr	7.5 x 10-4 Torr	7.5 x 10-4 Torr
	1 Pa	1 Pa	0.07 Pa	0.1 Pa	0.1 Pa
典型轴封氮流量	4 slm	4 slm	4 slm	4 slm	4 slm
进气口连接	ISO63	ISO63	ISO100	ISO100	ISO160
出口连接	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
15 psi 压降下 典型冷却水流量	120 l h-1	120 l h-1	240 l h-1	240 l h-1	240 l h-1
	2 l min-1	2 l min-1	4 l min-1	4 l min-1	4 l min-1
重量	240 kg	244 kg	415 kg	430 kg	502 kg
极限功率输入	2.7 kW	3.1 kW	3.4 kW	3.8 kW	4.1 kW
电机额定功率	3.5 kW	5.0 kW	6.1 kW	6.1 kW	7.0 kW
油容量	0.7 l	0.85 l	1.43 l	1.48 l	1.6 l

*所有数字均为无气镇时的典型值。