iXH 干泵_西安九华电子科技有限公司

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iXH 干泵

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场领先 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。

可满足 FPD、太阳能、半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的完美大容量干泵和增压泵系列。除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性以确保在严苛制程中具有最大可靠性。

iXH 泵采用模块化设计，符合当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战有着路线明确的应对计划。

应用：

半导体的目标应用包括：

    PECVD
    高 K
    低 K
    SACVD
    LPCVD
    ALD
    EPI

FPD 的目标应用包括：

    PECVD
    TCO
    刻蚀
    传输腔

特点：

针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。
符合主要的国际标准，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。