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S64节流控制插板阀

主要应用：系统隔离及下游压力控制，适用于SEMI，FPD，工业等工艺压力控制

节流控制阀

带步进电机
带集成控制器
DN Ordering numbers
mm inch ISO-F CF-F
metric threads		 CF-F UNF threads ASA-LP (T) ASA      (A) JIS
63 2 ½ 64236-PE x y 64236-CE x y 64236-UE x y 64236-TE x y 64236-JE x y
80 3 64238-PE x y 64238-CE x y 64238-UE x y 64238-TE x y 64238-JE x y
100 4 64240-PE x y 64240-CE x y 64240-UE x y 64240-TE x y 64240-JE x y
160 6 64244-PE x y 64244-CE x y 64244-UE x y 64244-TE x y 64244-JE x y
200 8 64246-PE x y 64246-CE x y 64246-UE x y 64246-TE x y 64246-JE x y
250 10 64248-PE x y 64248-CE x y 64248-UE x y 64248-TE x y 64248-JE x y
320 12 64250-PE x y on request 　 　 on request 　 　 64250-TE x y 64250-JE x y
350 14 – 　 　 – 　 　 – 　 　 – 　 　 64251-JE x y
400 16 64252-PE x y on request 　 　 on request 　 　 64252-AE x y 64252-JE x y
↓X ↓Y Number of
Controller configurations: Interface: sensors:
G  =  basic version J  = RS485 1
A   =  with SPS H   =  with PFO K  = RS485 2
C   =  with SPS and PFO Y  = Ethernet 1
T   =  basic version with VC master Z  = Ethernet 2
V   =  with SPS and VC master L  = CC-Link 1
U   =  with PFO and VC master N = CC-Link 2
W  =  with SPS, PFO and VC master I   = EtherCAT 1
SPS  =  Sensor Power Supply
(±15 V DC power supply for sensor)
PFO  =  Power Failure Option
(valve closes / opens automatically at power failure)
VC     =  Valve Cluster
(for operating several valves synchronously)		 X  = EtherCAT 2
S  = VC slave (without interface) 　
G = RS232 　
H = RS232 　
C = Logic 　
E  = Logic 　
P  = DeviceNet® 　
Q = DeviceNet® 　
D  =  Profibus  　
F  =  Profibus 
 		 　

节流控制阀

带步进电机
不带控制器
DN Ordering numbers
mm inch ISO-F CF-F
metric threads		 CF-F UNF threads ASA-LP (T) ASA      (A) JIS
63 2 ½ 64236-PE52 64236-CE52 64236-UE52 64236-TE52 64236-JE52
80 3 64238-PE52 64238-CE52 64238-UE52 64238-TE52 64238-JE52
100 4 64240-PE52 64240-CE52 64240-UE52 64240-TE52 64240-JE52
160 6 64244-PE52 64244-CE52 64244-UE52 64244-TE52 64244-JE52
200 8 64246-PE52 64246-CE52 64246-UE52 64246-TE52 64246-JE52
250 10 64248-PE52 64248-CE52 64248-UE52 64248-TE52 64248-JE52
320 12 64250-PE52 on request on request 64250-TE52 64250-JE52
350 14 – – – – 64251-JE52
400 16 64252-PE52 on request on request 64252-AE52 64252-JE52
   

技术参数
Leak rate: valve body, valve seat             1 · 10-9 mbar Is-1(Unheated on delivery)
Pressure range 1)                                     1 · 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
Cycles until first service                           2 million
Temperature
– Valve body                                             ≤ 150 °C
– Ambient                                                 ≤  50 °C
Material
– Valve body, plate
- aluminum                                               EN AW-6082 (3.2315)
- stainless steel                                       AISI 316L (1.4404 or 1.4435)
– Shaft                                                    AISI 316L (1.4404 or 1.4435)
– Other parts                                          iglidur®X, AISI 316L (1.4404 or 1.4435)
Seal: feedthrough                                   FKM (Viton®)


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